特点：
• 非接触、绝对式测量
• 样品对中快速简单
• 测试件调校方便，测量快速

技术规格：
• 测量方式：反射法和透射法
• 可测量参数：表面面形、波前、曲率半径
• 可测量高非球面度表面（最高可与球面偏离7度）
• 测量头摆动范围：+/-90°
• 高空间解析度：点分辨率可达μ级
• 高精度气浮轴承：径向、轴向精度优 于 0.05μm
• 可测量样品直径：40mm（可扩展至100mm）
• 曲率半径测量范围：80mm，凹/凸
• 表面面形分辨率：约1nm
• 软件包功能：
  - 表面面形测量数据处理
  - 对中误差修正
  - 测量数据输出
  - 参考表面数据输入
  - 表面面形图二维/三维显示